如何挑選氦氣測漏儀
如何選購氦氣測漏儀 通常我們會問客戶幾個問題
- 你的待測物是甚麼? 是測真空系統 或是 測產品 ( 產品指的是 例如 Air Bag, 氣密工業閥門, 毒氣鋼瓶, Hard Disk, 高端印表機墨水夾,手錶,鋰電池 AI 水冷套件 熱交換器 ...真空系統指的是例如台積電 友達的各式各樣的真空設備)
- 待測物是否有毒性? 粉塵? 待測產品大小?內容體積大小? 最高容忍漏率值? ( Minimum Leak Rate)? 是否已有測漏方式? ( Inside out or outside in or Sniffer), 每天測漏的批量? 要求TEST Cycle time(也就是氦氣測漏設備的產能)?
- 需要乾式或是油式 真空幫浦作為建立真空的設備?
如此詢問後 我們可以歸納出 您需要的 Net Helium( Air) Pumping Speed 的大小 及 Air Pumping Speed 去選配合適的 Turbo Pump 及顆數 , 選配合適的 Roughing Pump and Foreline Pump( 一顆通用 或是兩顆專用 或是三顆) , 使用電磁閥或是 air operated Valves, Vacuum Piping( 例如 MOCVD 設備 自我清潔流程)
選購氦氣測漏儀是一件不容易的工作 客戶時常問的問題是 相同的測漏感度 相通品牌 為何價錢差異很大 ( 例如 Inficon Fab1000/Fab 5000, FAB 3000/ 6000 的差別 ,Agilent VS PR02,PD03,MR15,MD30, Edwards ELD500, Flex, Wet,Dry...)
這是因為 測漏感度其實只是 Mass Spectrometer Tube 在真空最佳狀態下的氦氣含量, 及取樣路徑 ,而這兩項裝置 其實只佔測漏儀的ㄧ部分成本
而影響氦氣測漏儀的成本 除了的Mass Spectrometer 之外 還有分子渦輪幫浦的顆數 及 Primary Pump 的大小 及 乾濕 及 幫浦數量, 及 真空閥門 及 電路控制模組 及軟體功能
你不能期待 測一個小體積元件 跟 測大型元件 是同一個價錢
你也不能期待 1天測5 個 1.0E-9 torrliter/sec 的漏 跟一天測 2000 個的漏是同一個價錢 , 畢竟產能差別400倍
排除氦氣的能力 建立良好快速的真空環境 才是影響氦氣測漏儀成本的最大因素
你不能期待 一天測100個高壓閥門 跟測 100000 個 是同樣的價錢 , 他們在排除背景氦氣的能力 及 排除氦汙染的能力 是不一樣的規格 雖然他們的sensitivity 是一樣的
我們提供 先租再買 或是短租 長租 及 特殊測漏應用 及 RD 專用測漏儀 升級 為產線測漏儀
如果有進一步的問題
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