雙渦輪幫浦高性能氦氣測漏儀

內部組成結構:

1. 採用世界領導品牌的標準真空元件、與一般測漏儀常見特製零件相比，更耐用且較便宜
2. 主要質譜室採用 Agilent Spectrometer Tube & PCB , 為全世界分析儀器領導品牌

3. 採用 Agilent V-81-M 高真空渦輪分子幫浦，一顆負責質譜管真空，另一顆作為測試口抽氣專用
4. 粗抽幫浦採用 Agilent Dry Scroll Pump or Agilent DS402 Rotary Vane Pump
5. 低真空計選用 Granville Phillips 275 Module，採用全世界最可靠的低真空計,標準品(非特製品),

可量測 760Torr~1.0E(-4) Torr,

5-1. 也可以選配 Granville 356 或是 Agilent702 全領域真空計, 760~1.0E(-9) Torr, 穩定、可靠、耐用、大體積大面積、耐汙染、不易失真.
6. PLC 控制器，外加工業觸控螢幕微處理器(繁/簡體中文、英文顯示)
7. 內部閥門採用VAT Gate Valve & Agilent 或是 VAT 氣動直角閥
8. 本公司開發的測試軟體，可以記錄漏率、時間、測試人員、工件序號、藉以追蹤測試過程 (PC BASE)，

另有Auto Test Function 可以減少人員測試時間及錯誤操作

本產品優點

測漏快速

1. 1. 使用氣動角閥或閘閥取代傳統電磁閥，氣導比傳統測漏儀大 20倍以上( 35 liter/sec , KF-40 ,250Liter/sec KF-50 Gate VALVE)，捕捉的氦氣量也較傳統標準型測漏儀(如 Inficon 1000, MODUL300, VSMD30)大十倍以上。

2. 2. 用專責分子渦輪幫浦抽氣，速度快且排除氦氣背景訊號快速

3. 3. 測試50公升的腔體，可於1.5 分鐘內，從1atm 到達1.0E-9 atmcc/sec 以下背景值

4. 4. 使用7 米 KF-25bellow連接腔體測試氦漏，從一大氣壓到可以測 1.0E-9 atmcc/sec 只需1.5分鐘

5. 5. 排除氦氣迅速

6. 6. Test port pressure < 1.0E-6 Torr with Fast Mode

7. 7. 測試口抽速28 liter/sec for Helium

8. 真空系統構造簡單、並使用最好的真空計及最好的閥門、以維持高妥善率；體積設計稍大，但是容易維修保養 維修便宜且可靠耐用
9. 本公司開發許多周邊零件、軟體，方便用戶使用(有 LED 產業 MOCVD 專用機、專為高耐腐蝕、高活性氣體、高黏滯氣體、粉塵使用，有管路業、閥門業,、電廠業專業機，半導體植入機、半導體 PVD 專用機)

10. 唯一繁體中文的測漏儀

操作影片1-請點此連結

操作影片2-請點此連結

氦氣測漏儀抽氣測試影片-請點此連結

介紹影片-請點此連結