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真空腔體( UHV, HV,MV Chamber)
氦氣測漏儀
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分子渦輪幫浦(Turbo)
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防爆型氦氣測漏儀, 搭配防爆真空幫浦及遠端操控功能
AI伺服器水冷散熱系統、冷卻液分配管測漏
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